日本UNION测量显微镜,UNION光学显微镜,UNION工具显微镜及其配件-
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日本UNION测量显微镜,日本UNION光学显微镜,日本UNION工具显微镜
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日本UNION HISOMET 工具显微镜,测量显微镜, 品牌:UNION 型号:HISOMET系列 产地:日本 非接触式深度测量工具显微镜 HISOMET系列工具显微镜为一专业X、Y、Z轴座标测量显微镜,X、Y工作台行程由100*200mm到大行程500*500mm,放大倍数由5至1000×。为求提高工件在Z轴深度/高度测量时的精度,Z轴对焦采用一专利光学“裂像指示器”,结合精密的Z“Cross Roller Bearing”导轨,可测范围25 mm,精度高达1μm,配合特殊附件,测量分解度更可达0.5μm或0.1μm.
技术规格 型号:DH II
工作台行程:100*200mm/150*300mm/500*500mm
Z轴测量范围:25mm/25mm/25mm 三轴分解度:0.001mm Z轴读数装置:ID-F内置数显表/外置数据处理系统 反射照明系统: 内置8V-15W钨丝灯/外置冷光源 标准目镜:10X 标准物镜:10X 读数系统 DRO200S简易坐标读数器/QC200多功能数据处理器/QC5000测量软件电脑系统 功能: 非接触测量微细的撞击、台阶等。 ◎ 通过高精度的光学聚焦点检测和的聚 焦指示器完成高的测量 ◎ 简单的操作 ◎ Z轴测量行程可从几个到25mm ◎ 同时还可以完成测量点的表面观察 Union hisomet DH2高精度非接触深度测量显微镜 采用光学和非接触方法探测焦距的方法,测量不会给样品造成变形或划痕等影响,这些往往是采用物理性接触测量时产生的。基于目标分光方法原理的精密聚焦指示器的应用,以简单地把两个目标标志部分重合起来进行高精度的测量.. 用户ASAT,ST 博士,覆盖了80%的半导体工厂
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